TR | EN

Plazma Temizleme Cihazı

 Optosense

Plazma temizleme (plasma cleaning) yüzeylerdeki kirliliği ve kontaminantları gaz türlerinden oluşturulan enerjik plazma ya da Dielektrik Bariyer Deşarjı (Dielectric Barrier Discharge, DBD) kullanarak temizler. Argon ve oksijen gibi gazlar ya da hava ve hidrojen/nitrojen gibi karışımlar kullanılır. Düşük basınç (genelde 1/1000 atmosfer basınç civarı) gazı iyonize etmek için yüksek frekans (genelde kHz'den > MHz) voltaj kullanarak plazma oluşturulur. Atmosferik basınç plazma da artık yaygındır. 

Esnekliği hassas kontrol ile buluşturan plazma temizleyiciler birçok farklı uygulama için en mükemmel tercihtir. Plazma temizleme sistemlerimiz wafer ya da substrat üzerinde bulunan nano-ölçekteki organik kontaminasyonu hava, oksijen ya da argon plazma ile temizlemesi için tasarlanmıştır. Araştırmalarda ve endüstriyel uygulamalarda performansı, esnekliği ve güvenilirliği maksimuma çıkartmak için birçok özelliğe sahiptir.