İnce Film Kaplama Sistemleri (Termal Buharlaştırma)

İnce Film Kaplama (VAKSİS – MİDASm/PVD 40)

Sistem tek bir alttaş üzerine saçtırma ve termal buharlaştırma tekniklerini kullanarak maksimum dört farklı malzeme biriktirmek için kullanılabilir. Fiziksel buhar biriktirme yöntemi ile yapılacak kaplamalar elektronik aygıt üretimi, fotovoltaik uygulamalar gibi yüzey mühendisliği gerektiren birçok alanda tercih edilen yöntemlerdendir. İnce film kaplamalarda kalınlık 1-10 µm arasında değişmekte olup kaplamanın birikmesi atomik ölçekte gerçekleşmektedir.  Sistem Ge, Ni, Au, Ag, Al, Cr, Ti ve benzer metalleri buharlaştırabilmektedir. Sistemde iki adet termal buharlaştırma kaynağı mevcuttur. Kaynaklar 200 A kadar akım taşıyabilir. Sistemde iki kaynaklı rezistif termal buharlaştırm yanında bir adet DC ve bir adet RF magnetron sıçratma kaynağı bulunur. Sıçratma yapılacak metaller; metal, metal oksit, metal nitrit, dielektrik malzemelerdir. Sistemde kuartz kristal kaplama sensörü mevcuttur. 0.5 nm hassasiyette okuma yapılabilmektedir.