Mikro-üretim yöntemlerinde olan litografi bir maske üzerinde bulunan paterni silisyum ya da benzeri pullar üzerine yerleştirme işlemidir. Döndürmeli-kaplama, ısıtma, hizalama-pozlama, şekillendirme adımlarında oluşur. Merkezimizde bulunan Sınıf 1000-10000 temiz alan ile 2um boyutlarında kritik boyutlar elde edilebilmektedir.