Bilim ve Teknoloji AUM (BİTAM)

Litografi

                                                                    

Mikro-üretim yöntemlerinde olan litografi bir maske üzerinde bulunan paterni silisyum ya da benzeri pullar üzerine yerleştirme işlemidir.  Döndürmeli-kaplama, ısıtma, hizalama-pozlama, şekillendirme adımlarında oluşur.  Merkezimizde bulunan Sınıf 1000-10000 temiz alan ile 2um boyutlarında kritik boyutlar elde edilebilmektedir.